特許

J-GLOBAL ID：200903079116667941

基板処理装置

発明者： 北澤 裕之 ,  中川 良幸
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083451
公開番号（公開出願番号）：特開2003-275648
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：

【要約】【課題】 フットプリントが小さく、かつ高精度の処理を行うことができる基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板処理装置1の本体2に、基板90を保持するステージ3と、架橋構造4と、架橋構造4をX軸方向に移動させるための駆動力を発生させるモータとして鉄心(コア)のないACコアレスリニアサーボモータ50、51と、架橋構造4の位置を検出するリニアエンコーダ52、53と、ステージ3の保持面30の両側に一対の走行レール31aとを設ける。架橋構造4には、レジスト液を吐出するスリットノズルを取り付けたノズル支持部40およびノズル支持部40をZ軸方向に昇降させる昇降機構43、44を設ける。

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持台と、所定の処理ツールが取り付けられ、前記保持台の表面に沿って掛け渡された架橋構造と、前記架橋構造を前記保持台に保持されている基板の表面に沿った方向に移動させる移動手段と、を備え、前記方向に前記架橋構造を移動させつつ、前記処理ツールによって前記基板の表面を走査することにより、前記基板の表面に対して所定の処理を行う基板処理装置において、前記移動手段が、前記保持台に取り付けられて前記架橋構造の移動方向に沿って伸びる固定子と、前記架橋構造から伸びて前記固定子に非接触で対向する移動子とを有するACコアレスリニアサーボモータを備え、前記ACコアレスリニアサーボモータの駆動力によって前記架橋構造が移動することを特徴とする基板処理装置。

IPC (4件)：

B05C 5/00 101 ,  B05B 13/04 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05C 5/00 101 ,  B05B 13/04 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (20件)：

2H025AB14 ,  2H025AB20 ,  2H025DA20 ,  2H025EA04 ,  4F035AA04 ,  4F035CA01 ,  4F035CA05 ,  4F035CB03 ,  4F035CD03 ,  4F035CD13 ,  4F035CD18 ,  4F035CD19 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB02 ,  4F041BA12 ,  4F041BA22 ,  4F041CA02 ,  4F041CA18 ,  5F046JA27

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-308608   出願人：キヤノン株式会社
• 特に、紙またはボール紙からなる、走行する材料ウェブに液体状またはペースト状塗布媒体を直接的または間接的に塗布する装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-364278   出願人：フォイトズルツェルパピールマシーネンゲーエムベーハー
• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-133062   出願人：東京応化工業株式会社
• コアレスリニアモータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-260073   出願人：株式会社安川電機