特許

J-GLOBAL ID：200903079122791204

プローブカード

発明者： 板垣 卓男 ,  新井 健二
出願人/特許権者： 株式会社東京カソード研究所
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112728
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300785
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 精密近接配置された線径の細い探針を用いながら確実に電極パッドとの接触圧を得る。【解決手段】 探針14のアーム部14aを固定リング12に保持された弾性体20によって被検査体と反対側の上面を被覆保持する。

請求項（抜粋）：

表面及び内部にプリント配線が設けられたプローブカード基板と、このプローブカード基板に固定された固定リングと、前記プリント配線端子に基端が接続固定され先端が被検査体の電極端子に向かって伸張した複数の探針と、各探針の中間節部を前記固定リングに固定する樹脂部と、を含むプローブカードにおいて、前記各探針のアーム部は、固定リングに保持された弾性体によって前記被検査体と反対側の上面が被覆保持されていることを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 導通接触端子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-139274   出願人：日東精工株式会社