特許
J-GLOBAL ID：200903079128308645
物質表面検査装置及び物質表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-031423
公開番号（公開出願番号）：特開平9-203617
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】精度良く表面検査を行い得る物質表面検査装置及び物質表面検査方法を実現し難かつた。【解決手段】被検査物質の被検査面にレーザ光を集光して照射し、被検査物質の被検査面におけるレーザ光の反射光に基づいて被検査物質の被検査面上の変位位置を検出すると共に、当該反射光に基づいてレーザ光の被検査物質の被検査面からのデフオーカス量を検出し、当該検出結果に基づいて変位位置の変位量を検出するようにしたことにより、被検査物質の被検査面の状態をより正確に検査することができ、かくして精度良く表面検査を行い得る物質表面検査装置及び物質表面検査方法を実現できる。
請求項（抜粋）：
レーザ光を発射するレーザ光源と、上記レーザ光を被検査物質の被検査面に集光する集光手段と、上記レーザ光の上記被検査物質の上記被検査面における反射光に基づいて、上記レーザ光の上記被検査物質の上記被検査面からのフオーカスのずれ量を検出する第1の検出手段と、上記反射光に基づいて上記被検査物質の上記被検査面上の変位位置を検出する一方、上記第1の検出手段の検出結果に基づいて上記変位位置の変位量を検出する第2の検出手段とを具えることを特徴とする物質表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 C
, G01N 21/88 G
