特許
J-GLOBAL ID：200903079140229661
欠陥種別判定装置及びプロセス管理システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234818
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094536
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は、欠陥発生プロセスや欠陥発生原因に密接に関連した欠陥の種別を自動的判定でき、検査結果を製造プロセスに迅速かつ正確にフィードバック可能な装置を提供することを目的とする。【構成】被検体の欠陥検査で発見された欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置において、発見された欠陥の種々の評価項目に関する実測値が入力され、それら個々の実測値に対応した各欠陥コードを求め、それら欠陥コードを所定の順序で並べた欠陥コードナンバーを発生する欠陥コード発生手段22〜26と、複数の欠陥コードナンバーに対応した各種欠陥名称が登録され、前記欠陥コード発生手段22〜26から与えられる欠陥コードナンバーに対応した欠陥名称を出力する欠陥名称割り出し手段28とを具備する。
請求項（抜粋）：
被検体の欠陥検査で発見された欠陥の種別を判定する欠陥種別判定装置において、発見された欠陥の種々の評価項目に関する実測値が入力され、それら個々の実測値に対応した各欠陥コードを求め、それら欠陥コードを所定の順序で並べた欠陥コードナンバーを発生する欠陥コード発生手段と、複数の欠陥コードナンバーに対応した各種欠陥名称が登録され、前記欠陥コード発生手段から与えられる欠陥コードナンバーに対応した欠陥名称を出力する欠陥名称割り出し手段とを具備したことを特徴とする欠陥種別判定装置。
IPC (6件)：
G01N 21/88
, G02F 1/1333 500
, G06T 7/00
, G06T 7/60
, H01L 21/02
, H01L 21/66
G06F 15/62 405 A
, G06F 15/70 350 Z
