特許

J-GLOBAL ID：200903079147127414

型保持具、加工対象物保持具、微細加工装置および型取付方法

発明者： 楠浦 崇央 ,  丹保 仁志
出願人/特許権者： SCIVAX株式会社
代理人 (1件)： 奥田 律次
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2006321009
公開番号（公開出願番号）：WO2007-049530
出願日： 2006年10月23日
公開日（公表日）： 2007年05月03日
要約：

所定のパターンを有する型100と加工対象物200とを押圧して、型のパターンを加工対象物200に転写する微細加工装置において、型100を保持する型保持具であって、剛体からなる型保持基体21と、型保持基体21と型100との間に配置されると共に、厚さt1が下記式(1)を満たすように形成される弾性部材22と、を具備することを特徴とする型保持具。t1:弾性部材22の厚さλ1:少なくとも型100および加工対象物200のいずれか一方のうねりの大きさα:型100と加工対象物200との接触面内の「平均圧力」に対する「最大圧力と最小圧力の差」との比E1:弾性部材22のヤング率σ1:型100と加工対象物200との間の平均圧力

請求項（抜粋）：

所定のパターンを有する型と加工対象物とを押圧して、前記型のパターンを前記加工対象物に転写する微細加工装置において、前記型を保持する型保持具であって、 剛体からなる型保持基体と、 前記型保持基体と前記型との間に配置されると共に、厚さt1が下記式(1)を満たすように形成される弾性部材と、 を具備することを特徴とする型保持具。

IPC (4件)：

B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B29C 33/30 ,  B29C 33/32

FI (4件)：

B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  B29C33/30 ,  B29C33/32

Fターム (33件)：

4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AJ05 ,  4F202AJ09 ,  4F202AJ12 ,  4F202AR12 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CB29 ,  4F202CR03 ,  4F209AA00 ,  4F209AA03 ,  4F209AC03 ,  4F209AF01 ,  4F209AG01 ,  4F209AG05 ,  4F209AJ03 ,  4F209AJ05 ,  4F209AJ12 ,  4F209AK05 ,  4F209AK07 ,  4F209PA02 ,  4F209PA07 ,  4F209PB01 ,  4F209PG05 ,  4F209PG14 ,  4F209PH27 ,  4F209PN03 ,  4F209PN04 ,  4F209PQ09 ,  4F209PQ12 ,  5F046AA28 ,  5F046CC09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 米国特許第5772905号明細書(第4段落第46-47行)
  
• 配向膜に対する凹凸模様の転写装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-143659   出願人：アルプス電気株式会社