圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-320951
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146197
出願日： 1993年11月25日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】簡単な構造で、かつ、高信頼性の圧力センサを提供する。【構成】圧力変化に応じて変位するダイヤフラム1を一方の電極とし、ダイヤフラム1に対向した固定電極2を他方の電極としたコンデンサ3と、コイル4とによって閉回路を構成した共振回路5と、この共振回路5のコイル4に非接触状態で電磁結合されたピックアップコイルとを備え、共振回路5のコンデンサ3の静電容量の変化による共振周波数をピックアップコイルで測定することによって、圧力の変化を検出するように構成されている。

請求項（抜粋）：

圧力変化に応じて変位するダイヤフラムを一方の電極とし、前記ダイヤフラムに対向した固定電極を他方の電極としたコンデンサと、コイルとによって閉回路を構成した共振回路と、前記共振回路のコイルに非接触状態で電磁結合されたピックアップコイルと、を備えたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 , G01L 9/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭56-094499
特開昭61-026834
特開昭57-178596

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