特許
J-GLOBAL ID：200903079182518647
QスイッチCO2レーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229463
公開番号（公開出願番号）：特開平11-068213
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光路内に配置された光学素子の熱レンズ効果を防ぎ、安定した高出力のQスイッチCO2 レーザ光を得ようとするものである。【解決手段】 CO2 レーザガスを放電励起する放電励起部15、半透鏡22と全反射凹面鏡26とからなる光共振器21、および回転チョッパ56を有するQスイッチ装置55を備えたQスイッチCO2 レーザ装置において、前記放電励起部15と全反射凹面鏡26との間に配置された出力側集光素子27と、全反射凹面鏡26とによりテレスコープ25が構成されており、前記全反射凹面鏡26と出力側集光素子27と間に前記回転チョッパ56が位置している。
請求項（抜粋）：
CO2 レーザガスを放電励起する放電励起部、半透鏡と全反射凹面鏡とからなる光共振器、および回転チョッパを有するQスイッチ装置を備えたQスイッチCO2 レーザ装置において、前記放電励起部と全反射凹面鏡との間に配置された出力側集光素子と、全反射凹面鏡とによりテレスコープが構成されており、前記全反射凹面鏡と出力側集光素子と間に前記回転チョッパが位置していることを特徴とするQスイッチCO2 レーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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