特許

J-GLOBAL ID：200903079199768272

光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットおよびその製造方法

発明者： 川口 行雄
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-252058
公開番号（公開出願番号）：特開2000-064035
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 光記録ディスクの量産化のために、干渉膜としての特性を満たし、低抵抗であり、DCスパッタ法によって成膜できる光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットと、その製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲットは、カルコゲン化物とガラスとを含み、電気抵抗値が0.001〜0.1Ω・cmである。

請求項（抜粋）：

光記録ディスク用の干渉膜をDCスパッタ法により形成する際に用いられるターゲットであって、カルコゲン化物とガラスとを含み、電気抵抗値が0.001〜0.1Ω・cmである光記録媒体の干渉膜用スパッタリングターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531

FI (2件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/26 531

Fターム (11件)：

4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5D121AA03 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE13 ,  5D121EE17 ,  5D121EE19

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 光記録保護膜形成用スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-307466   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 光ディスクとその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-298206   出願人：日本ビクター株式会社