特許
J-GLOBAL ID：200903079231552503

圧電振動子の周波数調整方法

発明者：
有村 博之

有村 博之 について


出願人/特許権者：
株式会社大真空

株式会社大真空 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-050483
公開番号（公開出願番号）：特開2006-238115
出願日： 2005年02月25日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供することを目的とする。【解決手段】 圧電振動板1は矩形平板状のATカット水晶振動板からなり、その表裏面に矩形状の励振電極膜11,12が形成されている。圧電振動子の共振特性から主振動に有害なスプリアス振動の有無を確認する共振特性確認手段を実施する。次に前記調整対象となる励振電極膜の左右いずれかの領域に対して励振電極膜の加減を行い、前記共振特性のスプリアス振動の変動状況を確認する第1の調整試行手段を実施する。調整試行手段の結果、励振電極膜の左右いずれかの領域への調整が必要であると判断し、調整領域を決定し、パーシャル蒸着を行いスプリアス振動調整手段を実施する。同様の調整を励振電極膜の上下方向に対しても実施する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、いずれか一方の励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数調整方法であって、 当該圧電振動子の共振特性から主振動に有害なスプリアスの有無を確認する共振特性確認手段と、 前記調整対象となる励振電極膜の左右いずれかの領域に対して励振電極膜の加減を行い、前記共振特性のスプリアス変動状況を確認する第1の調整試行手段と、 前記第1の調整試行手段の結果、調整不要と判断した場合は調整を行わず、また励振電極膜の左右いずれかの領域への調整が必要であると判断した場合、調整領域を決定し、当該決定された調整領域の励振電極膜の膜厚加減を行う第1のスプリアス調整手段と、 前記調整対象となる励振電極膜の上下いずれかの領域に対して励振電極膜の膜厚加減を行い、前記共振特性のスプリアス変動状況を確認する第2の調整試行手段と、 前記第2の調整試行手段の結果、調整不要と判断した場合は調整を行わず、また励振電極膜の上下いずれかの領域への調整が必要であると判断した場合、調整領域を決定し、当該決定された調整領域の励振電極膜の膜厚加減を行う第2のスプリアス調整手段と、 前記調整対象となる励振電極膜のほぼ全面に対して膜厚加減を行う周波数調整手段と、 からなる圧電振動子の周波数調整方法。
IPC (2件)：
H03H 3/04 ,  H03H 9/02
FI (2件)：
H03H3/04 B ,  H03H9/02 M
Fターム (8件)：
5J108AA01 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108DD02 ,  5J108HH04 ,  5J108KK05 ,  5J108NB02 ,  5J108NB03
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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