特許

J-GLOBAL ID：200903079245002891

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： 櫛田 昌孝 ,  梶原 卓哉 ,  市川 立也
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355960
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181056
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 オーバー現像時の密着性、耐薬品性、最少現像時間の短縮、密着性及び解像度が極めて優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として含むカルボキシル基含有バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)下記一般式(I)で表される化合物を必須成分として含む、分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。(式中、R1は水素原子又は炭素数1〜3のアルキル基を示し、Xはエチレンオキサイド基を示し、Yはプロピレンオキサイド基、イソプロピレンオキサイド基、プチレンオキサイド基、ペンチレンオキサイド基又はヘキシレンオキサイド基を示し、Zは炭素数2〜16の炭化水素基を示し、n、m、p及びqは各々独立に1〜14の整数である)

請求項（抜粋）：

(A)スチレン又はスチレン誘導体を共重合成分として含むカルボキシル基含有バインダーポリマー、(B)光重合開始剤、(C)一般式(I)【化1】(式中、R1は水素原子又は炭素数1〜3のアルキル基を示し、Xはエチレンオキサイド基を示し、Yはプロピレンオキサイド基、イソプロピレンオキサイド基、ブチレンオキサイド基、ペンチレンオキサイド基又はへキシレンオキサイド基を示し、Zは炭素数2〜16の炭化水素基を示し、n、m、p及びqは各々独立に1〜14の整数である)で表される化合物を必須成分として含む、分子内に少なくとも一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  C08F220/34 ,  C08F291/00 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18

FI (10件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 511 ,  C08F220/34 ,  C08F291/00 ,  C08F299/02 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/06 H ,  H05K 3/18 D

Fターム (97件)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA07 ,  2H025AA08 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025BC14 ,  2H025BC45 ,  2H025BC82 ,  2H025CA00 ,  2H025CA28 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025DA03 ,  2H025DA18 ,  2H025DA20 ,  2H025EA04 ,  2H025EA08 ,  2H025EA10 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  4J026AA17 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BA50 ,  4J026BB03 ,  4J026BB04 ,  4J026DB11 ,  4J026DB29 ,  4J026DB30 ,  4J026DB36 ,  4J026FA04 ,  4J026GA07 ,  4J026GA08 ,  4J027AC02 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027AC06 ,  4J027AC09 ,  4J027AE02 ,  4J027AE04 ,  4J027AJ01 ,  4J027AJ02 ,  4J027AJ08 ,  4J027BA02 ,  4J027BA05 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA10 ,  4J027BA19 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD10 ,  4J100AB02R ,  4J100AJ02Q ,  4J100AL03P ,  4J100AL04P ,  4J100AL05P ,  4J100CA05 ,  4J100JA38 ,  5E339BE11 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CC10 ,  5E339CD01 ,  5E339CE12 ,  5E339CE14 ,  5E339CE16 ,  5E339CF01 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339DD02 ,  5E343AA02 ,  5E343AA12 ,  5E343BB21 ,  5E343BB71 ,  5E343CC63 ,  5E343DD43 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG03 ,  5E343GG08

引用特許：

審査官引用 (7件)

• 光重合性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-244578   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-302872   出願人：日立化成工業株式会社
• 光重合性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-025457   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及び感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-318413   出願人：日立化成工業株式会社
• 新規な感光性樹脂積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-207375   出願人：旭化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338739   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-170110   出願人：日立化成工業株式会社