特許

J-GLOBAL ID：200903079247058460

感熱式流量検出素子およびそれを用いた流量センサ

発明者： 山下 彰 ,  河合 正浩 ,  山川 智也 ,  大橋 豊
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-178060
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023338
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 この発明は、応答性、強度的信頼性に優れ、小型の流量検出素子を得る。【解決手段】 発熱抵抗素子4および一対の測温抵抗素子5、6が支持膜2および保護膜3により包まれて構成されたセンサ部10が平板状基板1上に形成されている。このセンサ部10の下部には、平板状基板1を貫通するエッチングホール8が形成され、センサ部10が平板状基板1と非接触状態に配置されている。流体測温素子7がセンサ部10から離れて平板状基板1上に形成されている。そして、流体測温素子7の下部には、平板状基板1の裏面側から支持膜2に達しないように平板状基板1の一部を除去して切欠9aが設けられている。

請求項（抜粋）：

少なくとも流体が流通する一面側に開口を有する空隙が設けられた平板状基板と、上記平板状基板の一面側に設けられた絶縁支持膜と、上記絶縁支持膜上の上記開口上に設けられた上記流体を加熱する発熱素子及び上記流体の温度を検出する感熱素子からなるセンサ部と、上記平板状基板上の一面側に上記センサ部から離れて設けられ上記流体の温度を検出する流体測温素子とを有し、上記発熱素子の発熱温度を上記流体測温素子の検出温度より所定の温度差だけ高く維持し、上記感熱素子の検出温度に基づき上記流体の流量又は流速を計測する感熱式流量検出素子において、上記流体測温素子の近傍の上記平板状基板上に上記平板状基板の面から他面側までは達しないように上記平板状基板の一部を除去して形成された第1の切欠を設けたことを特徴とする感熱式流量検出素子。

IPC (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12

FI (2件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-064518   出願人：株式会社リコー
• 特開昭63-271167
  
• 特開昭61-178614
  

審査官引用 (3件)

• 流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-064518   出願人：株式会社リコー
• 特開昭63-271167
  
• 特開昭61-178614