異物混入検査方法及びこれに用いる異物混入検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮川宏一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-072450
公開番号（公開出願番号）：特開2004-279273
出願日： 2003年03月17日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】今まで有効な検査方法の無かった非金属異物の検出を低コストで実現できる異物混入検査方法及びこれに用いる装置を提供する。【解決手段】紫外線又は可視光からなる特定の励起波長の電磁波を検査対象物に照射し、特定の蛍光波長を検出するフィルタを用いて電磁波が照射された検査対象物の特定の蛍光波長を検出する異物混入検査方法であって、特定の励起波長の電磁波と特定の蛍光波長とで確定される第1の蛍光条件により第1の蛍光画像を得て、第1の蛍光条件と対比した場合に特定の励起波長の電磁波と特定の蛍光波長の少なくともどちらか一方を変更することで確定される第2の蛍光条件により第2の蛍光画像を得た後、少なくとも第1の蛍光画像と第2の蛍光画像を合成処理することにより、異物混入有無の判定を行うための信号を生成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

紫外線又は可視光からなる特定の励起波長の電磁波を検査対象物に照射し、特定の蛍光波長を検出するフィルタを用いて前記電磁波が照射された検査対象物の発する特定の蛍光波長を検出して異物混入の有無を検査する異物混入検査方法であって、前記特定の励起波長の電磁波と前記特定の蛍光波長とで確定される第1の蛍光条件により第1の蛍光画像を得る第1のステップと、前記第1の蛍光条件と対比した場合に前記特定の励起波長の電磁波と前記特定の蛍光波長の少なくともどちらか一方を変更することで確定される第2の蛍光条件により第2の蛍光画像を得る第2のステップと、少なくとも前記第1のステップで得られた第1の蛍光画像と前記第2のステップで得られた第2の蛍光画像を含む2つ以上の異なる蛍光条件により得られた蛍光画像を合成処理することにより、異物混入有無の判定のために異物の存在領域を識別する画像処理を行う第3のステップを含むことを特徴とする異物混入検査方法。

IPC (1件)：

G01N21/88

FI (1件)：

G01N21/88 K

Fターム (9件)：

2G051AA33 , 2G051AB20 , 2G051BA05 , 2G051BA08 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051EA16 , 2G051EB01

引用特許：

審査官引用 (12件)

蛍光顕微鏡装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-286645 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-006444
特開平3-152444

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