特許

J-GLOBAL ID：200903079296236900

抵抗率測定方法及び固有抵抗率計

発明者： 小島 隆 ,  赤松 里志
出願人/特許権者： 電子磁気工業株式会社 ,  神奈川県
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319737
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121480
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 面内等方性材料の面内方向と厚さ方向の抵抗率を迅速に且つ容易に測定することができる抵抗率測定方法を提供する。【解決手段】 面内等方性材料1の面内方向の抵抗率ρipと厚さ方向の抵抗率ρzとを測定する抵抗率測定方法であって、一対の通電用電極探針a、dと、二対の第1、第2の測定用電極探針bとc、eとfとから成る6本の電極探針を面内等方性材料の表面1sに接触させて通電用電極探針間に電流を流し、第1の測定用電極探針間に発生する電位差VBCと、第2の測定用電極探針間に発生する電位差VEFとの比VEF/VBCをPとして、抵抗率ρipと抵抗率ρzを、次式【数1】(tは、面内等方性材料の厚さ、q(P)、gBC(P)、gEF(P)は、面内等方性材料の寸法と電極探針の座標で決まる関数)により算出する。

請求項（抜粋）：

面内等方性材料の面内方向の抵抗率ρipと厚さ方向の抵抗率ρzとを測定する抵抗率測定方法であって、一対の通電用電極探針と、二対の第1、第2の測定用電極探針とから成る6本の電極探針を前記面内等方性材料の表面に接触させて前記通電用電極探針間に電流を流し、前記第1の測定用電極探針間に発生する電位差VBCと、第2の測定用電極探針間に発生する電位差VEFとの比VEF/VBCをPとして、前記面内方向の抵抗率ρipと厚さ方向の抵抗率ρzを、次式【数1】(tは、面内等方性材料の厚さ、q(P)、gBC(P)、gEF(P)は、面内等方性材料の寸法と電極探針の座標で決まる関数)により算出することを特徴とする抵抗率測定方法。

Fターム (10件)：

2G028AA02 ,  2G028AA04 ,  2G028BB11 ,  2G028BC01 ,  2G028CG02 ,  2G028DH03 ,  2G028FK01 ,  2G028HN12 ,  2G028HN13 ,  2G028LR02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-047960
  
• 薄膜の電気抵抗測定法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-207981   出願人：日本鋼管株式会社, 大日本インキ化学工業株式会社