特許
J-GLOBAL ID:200903079302864471
物質を表面上に堆積させるための方法と装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
社本 一夫
, 小野 新次郎
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 増井 忠弐
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-511029
公開番号(公開出願番号):特表2007-535681
出願日: 2005年04月29日
公開日(公表日): 2007年12月06日
要約:
【解決手段】 本発明の幾つかの実施形態は、物質を受動吸着により通過させる開口部(104)が形成された細長い梁部(102)から、物質を表面上に堆積させる装置と方法を提供している。細長い梁部は、実質的に全長に沿って実質的に平面状であり、堆積工程時には、表面に対して鋭角を成すように配置され、長さは約2mm以下である。幾つかの実施形態では、開口部は、細長くて、物質貯留部(106)から、細長い梁部の終端部手前の位置まで伸張するか、細長い梁部の終端部を貫通して伸張しており、且つ細長い梁部の厚さを貫通して伸張している部分を有している。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
表面上に物質を堆積させるための装置において、
基部と、
前記基部から伸張している近位部分と前記近位部分から離れた位置にある遠位部分とを有し、前記基部に対して片持ち梁を形成する実質的に平面状の細長い梁部であって、長さが約2mm以下である細長い梁部と、
前記細長い梁部に形成された細長い開口部であって、受動吸着作用により前記細長い開口部に沿って液体を移動させる大きさに作られた内表面を少なくとも部分的には形成しており、遠位部を有していて、そこから物質を表面上に堆積させるようになっている、細長い開口部と、を備えている装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (21件):
2G058EA11
, 2G058EA14
, 2G058EB19
, 4B029AA07
, 4B029AA21
, 4B029BB01
, 4B029BB15
, 4B029CC04
, 4B029FA01
, 4B029GB02
, 4B029GB06
, 4B033NA11
, 4B033NB24
, 4B033NC04
, 4B033ND20
, 4B033NE02
, 4B033NG01
, 4B033NG09
, 4B033NG10
, 4B033NH10
, 4B033NJ10
引用特許:
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