流体用導管、流体用導管を形成する方法、マイクロアレイシステム、DPNシステム、流体回路、及びマイクロアレイの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286395
公開番号（公開出願番号）：特開2004-106172
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】マイクロアレイシステム、つけペン式ナノリソグラフィシステム、流体回路及びマイクロ流体システムで使用可能な流体導管の提供。【解決手段】流体用導管は、基板440に取り付けられた固定部453と、基板440から離れる曲がりを有するカンチレバー部454とを有するばねビーム460を含む。このばねビーム460は、該ばねビーム460のカンチレバー部454に沿って流体を運ぶための、カンチレバー部454の曲がりに対して略平行に延びる第1のチャネル452を定める。【選択図】図12

請求項（抜粋）：

基板に取り付けられた固定部と、前記基板から離れる曲がりを有するカンチレバー部とを有するばねビームを含む、流体用導管であって、前記ばねビームが、該ばねビームの前記カンチレバー部に沿って流体を運ぶための、前記カンチレバー部の前記曲がりに対して略平行に延びる第1のチャネルを定める、流体用導管。

IPC (4件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , B82B3/00 , G01N37/00

FI (4件)：

B81B3/00 , B81C1/00 , B82B3/00 , G01N37/00 102

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第3,842,189号明細書
米国特許第5,613,861号明細書

審査官引用 (3件)

マイクロポンプ
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-526087 出願人：ゲーシム・ゲゼルシャフト・フューア・ズィリーツィウム-ミクロズュステーメ・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング
ガスフローセンサ及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-250828 出願人：沖電気工業株式会社
プローブカードおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-145975 出願人：株式会社アドバンテスト, 下河辺明, 秦誠一

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