特許
J-GLOBAL ID：200903079304779978
アクティブ除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134913
公開番号（公開出願番号）：特開平7-317835
出願日： 1994年05月26日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 振動制御ループのゲインを抑えたときでも除振性能を向上させる。【構成】 除振台1を支持する支持手段3,4と、除振台1を駆動するアクチュエータ6と、除振台1の振動を検出する振動センサ7と、除振台1の変位を検出する変位センサ11と、振動センサ7の出力を補償してアクチュエータ6を駆動する振動制御ループ8,9,10と、変位センサ11の出力を補償してアクチュエータ6を駆動する位置制御ループ11,12,10とを備えたアクティブ除振装置において、振動センサ7の出力と変位センサ11の出力から演算によって得た信号を補償してアクチュエータ6を駆動する第2の振動制御ループ13,14,10を設ける。
請求項（抜粋）：
除振台を支持する支持手段と、前記除振台を駆動するアクチュエータと、前記除振台の振動を検出する振動センサと、前記除振台の変位を検出する変位センサと、前記振動センサの出力を補償して前記アクチュエータを駆動する振動制御ループと、前記変位センサの出力を補償して前記アクチュエータを駆動する位置制御ループとを具備するアクティブ除振装置において、前記振動センサの出力と前記変位センサの出力から演算によって得た信号を補償して前記アクチュエータを駆動する第2の振動制御ループを備えたことを特徴とするアクティブ除振装置。
IPC (3件)：
F16F 15/02
, H01L 21/027
, H01L 21/68
