特許
J-GLOBAL ID：200903079330073765
標準ガス調製装置及びこれを用いた性能検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小泉 雅裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-005470
公開番号（公開出願番号）：特開2006-194694
出願日： 2005年01月12日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】 ユーザーの要望に応じた複数種のガスを任意に組合せることができ、複数種のガスが含まれる標準ガスを簡単且つ効率良く調製する。【解決手段】 複数の液状試薬が収容可能な試薬容器2(例えば2a〜2n)有し、各試薬容器2からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段1と、この試薬分配手段1から分配された液状試薬が滴下される気化受4を有し、この気化受4に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバー3と、この気化チェンバー3と連通し且つ気化チェンバー3にて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバー5と、この希釈チェンバー5に希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段6と、希釈チェンバー5に連通接続され、気化チェンバー3内で気化された気化ガスと希釈チェンバー5内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段7とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の液状試薬が収容可能な試薬容器を有し、各試薬容器からの液状試薬を適量分配して供給する試薬分配手段と、
この試薬分配手段から分配された液状試薬が滴下される気化受を有し、この気化受に滴下された液状試薬を完全に気化させる気化チェンバーと、
この気化チェンバーと連通し且つ気化チェンバーにて気化された気化ガスを希釈する希釈チェンバーと、
この希釈チェンバーに希釈ガスを適量供給する希釈ガス供給手段と、
希釈チェンバーに連通接続され、気化チェンバー内で気化された気化ガスと希釈チェンバー内の希釈ガスとが混合された標準ガスを排出する標準ガス排出手段と、
を備えたことを特徴とする標準ガス調製装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G052AA39
, 2G052AD26
, 2G052AD42
, 2G052CA03
, 2G052CA12
, 2G052EB01
, 2G052EB11
, 2G052EB12
, 2G052FB02
, 2G052FB07
, 2G052FD01
, 2G052FD17
, 2G052GA24
, 2G052GA27
, 2G052HA15
, 2G052HA17
, 2G052JA03
, 2G052JA09
