特許

J-GLOBAL ID：200903079331694720

照明装置および露光装置

発明者： 村上 勝彦 ,  押野 哲也 ,  真島 清人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-216132
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083746
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 オプティカルインテグレータを使用しない単純な構成にすることによって、効率を向上した照明装置、および該照明装置を備えることによりスループットを向上した露光装置を提供すること。【構成】 少なくとも、所定の大きさの光源又はその像を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とを有する照明装置において、前記光源手段は、発散光束を供給する光源部1を有し、前記集光光学系は、第1の凹面鏡2と第2の凹面鏡3とを有し、該第1の凹面鏡2は、前記光源手段からの発散光束をメリジオナル面内において平行光束に変換する放物シリンドリカル面の一部より構成され、該第2の凹面鏡3は、放物線の頂点から該放物線の対称軸AX0に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸にAX0対して垂直に通るメリジオナル面内にある基準軸AX1を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されることを特徴とする照明装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも、所定の大きさの光源又はその像を形成する光源手段と、該光源手段からの光束を集光して被照明物体を照明する集光光学系とを有する照明装置において、前記光源手段は、発散光束を供給する光源部を有し、前記集光光学系は、第1の凹面鏡と第2の凹面鏡とを有し、該第1の凹面鏡は、前記光源手段からの発散光束をメリジオナル面内において平行光束に変換する放物シリンドリカル面の一部より構成され、該第2の凹面鏡は、放物線の頂点から該放物線の対称軸に沿って所定の距離だけ隔てた位置を該対称軸に対して垂直に通るメリジオナル面内にある基準軸を中心に回転させた放物トーリック形状の回転体の一部より構成されることを特徴とする照明装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/10 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 照明光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-242486   出願人：株式会社ニコン
• 投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-326425   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭63-102228
  
• 特開昭59-218729