特許

J-GLOBAL ID：200903079371763067

縦型拡散炉

発明者： 柳 英紀
出願人/特許権者： 広島日本電気株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200758
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 炉口部付近の温度降下を防止することにより、炉芯管内の昇温及び温度安定の時間を短縮して、炉芯管内の加熱効率を向上させた熱拡散方法及びこの方法の実施に用いる縦型拡散炉を提供する。【解決手段】 炉芯管2と、炉芯管2の外周から炉芯管2の内部を加熱する主ヒータ3とを備えている縦型拡散炉1において、ウェハ移送用のボード11の下端に設けられ、ボード11と一体的に炉芯管2の外部と内部との間を昇降するものであり、炉芯管2の下方の炉口部16内からの炉口部16付近を加熱する下部ヒータ7を備えている。

請求項（抜粋）：

縦方向に延びる炉芯管の外周から炉芯管内を加熱して、炉芯管内に配置したウェハの熱拡散処理を行う熱拡散方法において、炉芯管の下方に開口した炉口部内から炉口部付近を加熱することを特徴とする熱拡散方法。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/22

FI (2件)：

H01L 21/22 511 A ,  H01L 21/22 511 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-218117
  
• 縦型高速熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-248297   出願人：東横化学株式会社
• 特開昭63-128623