特許
J-GLOBAL ID：200903079405688213

ひとみオブスキュレーションを伴う対物鏡

発明者：
マン,ハンス-ユルゲン

マン,ハンス-ユルゲン について

, 
ユーリッヒ,ヴィルヘルム

ユーリッヒ,ヴィルヘルム について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー

カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-521424
公開番号（公開出願番号）：特表2005-500566
出願日： 2002年08月16日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：
第1のフィールド平面(7)を中間像(11)上に投影し、第1の中心ミラー・アパーチャ(15)備えた第1の凸面ミラー(13)ならびに第2の中心ミラー・アパーチャ(19)備えた第2の凹面ミラー(17)を備え、第1のミラー(13)は、第2のミラー(17)’からの第1の軸方向間隔を有し、第2のミラー(17)は、中間像(11)からの第2の軸方向間隔を有し、第1の軸方向間隔対第2の軸方向間隔の比が0.95と1.05の間の値、特に0.98と1.02の間の値を有する第1の部分対物鏡(3)、および中間像(11)を第2のフィールド平面(9)上に投影し、第3の中心ミラー・アパーチャ(23)備えた第3の凹面ミラー(21)ならびに第4の中心ミラー・アパーチャ(27)1備えた第4の凹面ミラー(25)を備え、第3のミラー(21)は、第2のフィールド平面(9)からの第3の軸方向間隔ZM3-IMを有し、それが第2のフィールド平面(9)内の開口率NAおよび第3のミラー(21)の直径DUM3と関係:(I)を有する、第2の部分対物鏡(5)を備える対物鏡(1)であって、当該対物鏡(1)は、絶対値が第1のフィールド平面(7)の、第2のフィールド平面(9)からの軸方向間隔より大きいペッツバル半径を有する。
請求項（抜粋）：
第1のフィールド平面(7,207,307)を中間像(11,211,311)上に投影し、第1の中心ミラー・アパーチャ(15,215,315)備えた第1の凸面ミラー(13,213,313)および第2の中心ミラー・アパーチャ(19,219,319)備えた第2の凹面ミラー(17,217,317)を備え、前記第1のミラー(13,213,313)は、前記第2のミラー(17,217,317)から第1の軸方向間隔を有し、前記第2のミラー(17,217,317)は、前記中間像(11,211,311)から第2の軸方向間隔を有し、前記第1の軸方向間隔対前記第2の軸方向間隔の比が0.95と1.05の間の値を有し、特にそれが0.98と1.02の間の値である、第1の部分対物鏡(3,203,303);および、 前記中間像(11,211,311)を第2のフィールド平面(9,209,309)上に投影し、第3の中心ミラー・アパーチャ(23,223,323)備えた第3の凹面ミラー(21,221,321)および第4の中心ミラー・アパーチャ(27,227,327)備えた第4の凹面ミラー(25,225,325)を備え、前記第3のミラー(21,221,321)は、前記第2のフィールド平面(9,209,309)から第3の軸方向間隔ZM3-IMを有し、それが前記第2のフィールド平面(9,209,309)内の開口率NAおよび第3のミラー(21,221,321)の直径DuM3と次に示す関係を有する、第2の部分対物鏡(5,205,305)、 0.03・DuM3+5.0mm IPC (6件)：
G02B17/00 ,  G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B13/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027
FI (9件)：
G02B17/00 A ,  G02B13/14 ,  G02B13/18 ,  G02B13/24 ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A ,  H01L21/30 515D ,  H01L21/30 529
Fターム (13件)：
2H087KA21 ,  2H087LA01 ,  2H087NA04 ,  2H087RA03 ,  2H087TA02 ,  2H087TA06 ,  2H097AA02 ,  2H097CA15 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046CB27 ,  5F046DA13 ,  5F046GB01
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM