特許
J-GLOBAL ID：200903079416176583
マイクロ波プラズマ滅菌方法および装置
出願人/特許権者：
独立行政法人 科学技術振興機構
独立行政法人 科学技術振興機構 について
代理人 (1件)： 山口 隆生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-015655
公開番号（公開出願番号）：特開2004-223038
出願日： 2003年01月24日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：
【課題】取扱いが安全かつ容易で、低温処理(70°C以下)が可能で、高速処理と大容量の処理ができる低コストのプラズマ滅菌方法および装置を実現する。【解決手段】真空容器1を真空排気口3を介して真空ポンプ(図示せず)により所定の圧力まで排気した後、ガス導入口2から酸素ガスを導入する。真空容器1内の上部に配置されたマイクロ波導入装置5に、マイクロ波発生装置(図示せず)から導波路7を介して導入される2.45GHzのマイクロ波を表面波プラズマ変換装置6のプラズマ変換用スロットアンテナ10に供給した後、石英板11を介してマイクロ波を真空容器1内に導くと、マイクロ波放電プラズマを生成する。こうして生成した酸素プラズマにより、載置台15に載置された被滅菌物を低温(70°C以下)で滅菌処理する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
酸素ガスを用いて生成した高密度マイクロ波プラズマにより被滅菌物を滅菌することを特徴とするマイクロ波プラズマ滅菌方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (25件)：
4C058AA12
, 4C058AA21
, 4C058AA25
, 4C058BB06
, 4C058DD03
, 4C058DD06
, 4C058DD07
, 4C058EE22
, 4C058EE23
, 4C058JJ12
, 4C058KK04
, 4C058KK06
, 4C058KK21
, 4C058KK28
, 4C058KK32
, 4G075AA37
, 4G075AA61
, 4G075BA10
, 4G075CA26
, 4G075CA47
, 4G075CA51
, 4G075CA65
, 4G075DA01
, 4G075EB01
, 4G075FB06
引用特許：
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