特許

J-GLOBAL ID：200903079437232904

インクジェットプリンタヘッドと圧電基板の製造方法

発明者： 近藤 正雄 ,  肥田 勝春 ,  栗原 和明 ,  塚田 峰春 ,  表 孝司 ,  中西 輝
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-264550
公開番号（公開出願番号）：特開平10-109411
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 インクジェットプリンタヘッドと圧電基板の製造方法に関し、インクジェットプリンタヘッドを小形化する。【解決手段】 一対の圧電基板22と23を接合し、圧電基板23にインク流路溝12と圧電駆動電極16を形成し、圧電基板23にインク流路溝12に圧電駆動電極16を形成し、駆動電極16がインク流路溝12の上下を挟み、さらにインク流路溝12の左右を駆動電極で挟む。グリーンシートを重ねて焼成した圧電基板は、大判のグリーンシートを重ねて焼成したのち、グリーンシートに設けたスルーホールの内壁に導体層を形成し、しかるのち複数のスルーホールの整列線に沿って分割することで、スルーホール内壁の導体層が外部接続端子となるようにした構成である。

請求項（抜粋）：

インク流路溝が形成された第1の圧電基板の下面に、第2の圧電基板の上面が接合され、該第1の圧電基板内には該インク流路溝の底面に対応する第1の圧電駆動電極が形成され、該第2の圧電基板内には該インク流路溝に対応する第2の圧電駆動電極が形成されたインクジェットプリンタヘッドであって、該第1の圧電基板が、圧電粉末よりなる複数枚の第1のグリーンシートと、該第1のグリーンシートの所定部に該第1の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第2のグリーンシートと、該第1のグリーンシートの所定部に該インク流路溝となる切り欠きを形成した複数枚の第3のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたものであり、該第2の圧電基板が、複数枚の該第1のグリーンシートと、該第1のグリーンシートの所定部に該第2の圧電駆動電極の電極パターンが形成された複数枚の第4のグリーンシートを重ねた焼成処理で一体化させたものであること、を特徴とするインクジェットプリンタヘッド。

IPC (5件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (4件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• インクジェットヘッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-127789   出願人：シチズン時計株式会社
• 積層型圧電/電歪アクチュエータ素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-323635   出願人：富士電気化学株式会社, 富士通株式会社
• 特開昭63-149159
  
• 特開昭62-056150