特許

J-GLOBAL ID：200903079456817123

レジスト組成物

発明者： 清水 茂 ,  遠藤 賢史 ,  高柳 恭之
出願人/特許権者： 日東化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-199886
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311459
出願日： 1993年07月20日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：

【要約】【目的】 従来のセロソルブ系溶媒に溶解したレジスト組成物に比べて、低毒性で安全性が高く、塗布ムラや塗れ残りがなく、且つ長期保存時の微粒子の発生や特性変化のない優れた性能のレジスト組成物を提供することにある。【構成】 β-アルコキシイソ酪酸エステル類にアルカリ可溶性樹脂および感放射線性化合物を溶解してなるレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂および感放射線性化合物をβ-アルコキシイソ酪酸エステル類に溶解してなることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-368950
  
• フオトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-170199   出願人：三菱化成株式会社
• 特開平4-328747