光導波路の構造とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147671
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020336
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】クラッド部とコア部を積層させてなるリッジ型光導波路からなる導波路型光デバイスにおいて、温度変化などの外部環境変化に対してストレスの影響を受けることなく安定した特性を得る光導波路構造を提供する。【構成】基板表面において光導波路が形成される部分にあらかじめ溝を形成し、その溝の中に光導波路を形成するクラッド部とコア部を形成する。また、溝をエキシマレーザによるアブレーションにより加工する。【効果】溝を形成することにより基板と光導波路を形成するクラッド部およびコア部との熱膨張係数差によるストレスが低減され、安定した特性が得られる。

請求項（抜粋）：

光を導波させるコア部と少なくとも前記コア部の下部に該コア部より屈折率の小さいクラッド部を備えた光導波路を基板上に有する導波路型光デバイスの光導波路の構造において、前記光導波路が、前記基板の表面に形成された溝の中に、前記クラッド部を前記溝の底面に接して形成されていることを特徴とする光導波路の構造。

引用特許：

審査官引用 (3件)

導波路作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-025260 出願人：住友電気工業株式会社
特開昭62-143004
特開昭57-176005

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