特許
J-GLOBAL ID:200903079470346869

マイクロレンズ用感光材料

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-315003
公開番号(公開出願番号):特開平7-168359
出願日: 1993年12月15日
公開日(公表日): 1995年07月04日
要約:
【要約】【目的】 固体撮像素子、液晶表示素子の製造時に用いられるマイクロ集光レンズ材料を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂としてビニルフェノール系共重合体の一部を水素添加した樹脂、感光剤として1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性及び耐溶剤性を付与できる熱硬化剤並びに溶剤からなるマイクロレンズ用感光材料。
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂、感光剤、熱硬化剤及び溶剤からなるマイクロレンズ用感光材料において、該アルカリ可溶性樹脂がビニルフェノール系共重合体の一部を水素添加した樹脂からなり、該感光剤が1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルからなり、さらに加熱処理によりレンズを形成する際に耐熱性及び耐溶剤性を付与させる熱硬化剤を含有することを特徴とするマイクロレンズ用感光材料。
IPC (5件):
G03F 7/039 501 ,  C08F 2/44 MDY ,  G02B 1/04 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 521
引用特許:
審査官引用 (11件)
  • 特開平3-223702
  • ポジ型ホトレジスト組成物
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-073613   出願人:東京応化工業株式会社
  • 特開平4-352101
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