特許
J-GLOBAL ID:200903079486760037

スクリュー式ディスペンサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 有吉 教晴 ,  有吉 修一朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-428826
公開番号(公開出願番号):特開2005-185916
出願日: 2003年12月25日
公開日(公表日): 2005年07月14日
要約:
【課題】 リアルタイムで吐出量の調整を行うことができ、液剤の安定した塗布作業を行うことができるスクリュー式ディスペンサーを提供する。【解決手段】 アンダーフィル材を蓄積するシリンジ2と、シリンジから供給されるアンダーフィル材をディスペンスヘッドの先端部のノズル3から吐出させるためのスクリュー4と、スクリューを駆動させるためのモーター5を備え、アンダーフィル材を塗布する被処理体の表面にノズルから吐出したアンダーフィル材を塗布するスクリュー式ディスペンサー1において、モーターに流れる電流量を電流計8で検知し、電流量に応じて制御ユニット6から電源8に対して信号を発して、モーターの回転数を制御する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液剤を貯留するシリンジと、 該シリンジから供給される液剤をノズルから吐出させるスクリューと、 該スクリューを駆動するモーターを備え、 被処理体の表面に前記ノズルから吐出した液剤を塗布するスクリュー式ディスペンサーにおいて、 前記モーターに流れる電流量を検知し、同電流量が略所定量となる様に、前記モーターの回転数を制御する ことを特徴とするスクリュー式ディスペンサー。
IPC (2件):
B05C5/00 ,  H01L21/56
FI (2件):
B05C5/00 101 ,  H01L21/56 E
Fターム (8件):
4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA02 ,  4F041BA34 ,  5F061AA01 ,  5F061BA04 ,  5F061CA05
引用特許:
出願人引用 (2件)

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