特許

J-GLOBAL ID：200903079495994040

処理システム及び基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者： 林 伸也 ,  岩崎 達也
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-214425
公開番号（公開出願番号）：特開2004-056016
出願日： 2002年07月23日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】搬送効率の向上およびフットプリントの低減を実現する。【解決手段】副搬送機構18は、基板Gを保持する搬送アーム76のピンセット82を基板移載位置に位置決めしてから、ピンセット82の吸着パッドに供給していたバキューム吸引力をオフにし、基板中継部90のピン昇降部94を作動させて、リフトピン92をピン支持アーム100と一体に復動または待機位置(仮想線で示す位置)から往動位置(実線で示す位置)まで上昇移動させる。リフトピン92は、この上昇移動の途中でピンセット82から基板Gをピン先端にて水平状態で受け取り、受け取った基板Gを往動位置の高さ位置まで持ち上げる。外部搬送手段(図示せず)はそのピンセット(図示せず)でリフトピン92から基板Gを受け取ることができる。【選択図】 図11

請求項（抜粋）：

搬送本体と、 前記搬送本体に取り付けられ、被処理基板を搬送のため保持するピンセットを有する搬送アームと、 前記搬送本体に取り付けられ、前記ピンセットと他の基板搬送手段との間で前記基板の受け渡しを中継するために前記基板を支持する基板中継部と を具備する基板搬送装置。

IPC (6件)：

H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B25J15/08 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07 ,  H01L21/027

FI (6件)：

H01L21/68 B ,  B25J9/06 D ,  B25J15/08 Z ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 G ,  H01L21/30 562

Fターム (36件)：

3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CY36 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV22 ,  3C007FS01 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA35 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA33 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031MA03 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA30 ,  5F046JA22 ,  5F046KA07 ,  5F046LA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-121331   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 搬送装置の位置合わせ機構および位置合わせ方法、ならびに基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-297094   出願人：東京エレクトロン株式会社