特許

J-GLOBAL ID：200903079503988560

キレート剤を含有するホトレジストストリッパー組成物

発明者： ケンジ・ホンダ
出願人/特許権者： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 高木 千嘉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112232
公開番号（公開出願番号）：特開平8-305038
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【課題】 新規な非腐食性ホトレジストストリッパー組成物の提供。【解決手段】 この非腐食性のホトレジストストリッパー組成物は:(a) 20〜70重量%の、3.5より大きい双極子モーメントをもつ有機極性溶剤;(b) 70〜20重量%の特定のアミン化合物;(c) 効果的分量のポリマーまたはオリゴマー主鎖に一価または多価酸タイプの配位子が共有結合によって結合したものからなるキレート剤;および(d) 場合により0〜10重量%のヒドロキシル基をもつ特定のアミノ酸、から構成されている。

請求項（抜粋）：

(a) 約20から約70重量%までの、3.5より大きい双極子モーメントを有する有機極性溶剤;(b) 約70から約20重量%までの、以下の式(I)をもつ化合物よりなる群から選ばれたアミン化合物:【化1】ここでnとmはそれぞれ独立的に0〜5の範囲の整数で、両端を含み;Xは水素、アルキル、またはアルコキシ基であり;Yは-O-かまたは-NH-のいずれかであり;そしてZは水素、-OH、または-NH2である;(c) 効果的分量の、ポリマーまたはオリゴマー主鎖に一価または多価酸タイプの配位子が共有結合によって結合したものからなるキレート剤;(d) 場合により約0から約10重量%までの、以下の式(II)をもつ化合物よりなる群から選ばれたアミノ酸:【化2】ここでpは1〜3の範囲の整数;R1とR2はそれぞれ独立的に水素および以下の式(III)をもつ化合物よりなる群から選ばれたものであり:【化3】ここでR5、R6、およびR7はそれぞれ独立的に水素、-OH、-CH2OH、アルキル、アルコキシ、フェニル、およびモノ-、ジ-またはトリ-ヒドロキシ置換フェニル基から選ばれたものであり;そしてR3とR4はそれぞれ独立的に水素および以下の式(IV)をもつ化合物より構成される群から選ばれたものであり:【化4】ここでX′、Y′、およびZ′はそれぞれ独立的に水素、-OH、-CH2OH、-CH2CH2OH、-CH2COOH、アルキル、またはアルコキシ基から選ばれたもので、そしてその少なくとも1つは-OH、-CH2CH2OH、または-CH2OHであり;前記%のすべては組成物の重量を基準にするものである、から構成されるレジストストリッパー組成物。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-124668
  
• 特開昭63-231343
  
• 水溶性レジストの剥離方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-035274   出願人：日立化成工業株式会社