特許
J-GLOBAL ID:200903079563274604
ファン・フィルタ・ユニット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
京本 直樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-200154
公開番号(公開出願番号):特開2001-025624
出願日: 1999年07月14日
公開日(公表日): 2001年01月30日
要約:
【要約】【課題】 ケミカルフィルタ内蔵型FFUを設置したクリーンルーム中の化学物質の除去効率を向上させる目的で、ケミカルフィルタの通過空気量を増加させクリーンルーム循環空気量を増加させると、空気循環用に必要な空間が増大し、同時に空気の循環経路が長くなり空気圧力損失が多くなることでファンの電力消費量が多くなる。【解決手段】 ケミカルフィルタ内蔵型FFU10のケミカルフィルタ1の後段に、ファン3へのバイパス部2を構成し、ケミカルフィルタ1を通過した空気の一部を塵除去フィルタ4を通過させることなくファン3に循環させることで、冷却コイル23や空気循環用空間24を通過することなくファン3に達するため、空気圧力損失が低減されファンを駆動するモータの電力消費量を低減できるとともに、空気循環用空間24の削減も図ることができる。
請求項(抜粋):
少なくとも吸入口より吸入した空気を吹出す送気ファンとこの送気ファンにより吹出された前記空気を通過させて前記空気中の化学物質と塵埃をそれぞれ除去するケミカルフィルタと塵除去フィルタとを含むファン・フィルタ・ユニット(以下、FFUとする)であって、前記ケミカルフィルタを通過した空気の一部を前記塵除去フィルタを通過させることなく前記送気ファンに戻すバイパス部を有することを特徴とするFFU。
IPC (2件):
FI (2件):
B01D 46/00 F
, F24F 7/06 C
Fターム (14件):
3L058BE02
, 3L058BF01
, 3L058BG01
, 3L058BG03
, 3L058BG04
, 4D058JA12
, 4D058JA14
, 4D058KB12
, 4D058KC02
, 4D058NA01
, 4D058NA02
, 4D058QA01
, 4D058QA23
, 4D058SA04
引用特許:
出願人引用 (2件)
-
特開昭53-083172
-
クリーンルームシステム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-254846
出願人:高砂熱学工業株式会社
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