特許

J-GLOBAL ID：200903079565204778

自由曲面加工方法および装置および光学素子

発明者： 高橋 靖
出願人/特許権者： リコー光学株式会社
代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324139
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138077
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】プラスチック・ガラスを問わず自由曲面加工を可能ならしめる。【解決手段】レーザ光源1からのレーザビームを、ビーム径変換・平行化手段3,9により所定のビーム径の平行ビームとし、加工ビーム分離手段5により所望の強度の加工ビームを分離し、偏向手段17により偏向させ、結像光学系19により、被加工物0の加工されるべき面上に加工用スポットとして集光させ、被加工物0を副走査方向へ所定の速度で変位させつつ、加工すべき自由曲面形状のデータに応じて加工ビームの強度を、制御手段による制御で変調させて上記加工されるべき面の走査を行って、自由曲面の加工形成を行う装置であって、レーザビームのビーム径を変化させるビーム径可変手段と、加工ビームのパワーを調整するパワー調整手段とを有する。

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、このレーザ光源から放射されたレーザビームを、所定の大きさのビーム径に変換し、且つ平行ビームとするビーム径変換・平行化手段と、上記レーザビームから、所望の強度の加工ビームを分離する加工ビーム分離手段と、上記ビーム径変換・平行化手段により所定のビーム径の平行ビームとされたレーザビームを平行ビームとして通過させ、上記レーザビームのビーム径を調整するビーム径可変手段と、このビーム径可変手段でビーム径を調整された加工ビームを、偏向反射面で反射して偏向させる偏向手段と、この偏向手段により偏向される加工ビームを加工用スポットとして集光させ、主走査方向へ走査して主走査を行うための結像光学系と、被加工物の加工されるべき面を、上記加工用スポットによる走査面位置に合致させて保持するとともに、被加工物を副走査方向へ所定の速度で変位させる保持変位手段と、上記加工ビームのパワーを調整するパワー調整手段と、上記加工ビーム分離手段を制御して、加工すべき自由曲面形状のデータに応じて、加工ビームの強度を変調させる制御手段とを有することを特徴とする自由曲面加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 26/10

FI (3件)：

B23K 26/00 G ,  B23K 26/06 E ,  G02B 26/10 A

Fターム (18件)：

2H045AA01 ,  2H045AB01 ,  2H045BA02 ,  2H045CA67 ,  2H045CB13 ,  2H045DA22 ,  2H045DA28 ,  4E068CA02 ,  4E068CA07 ,  4E068CB08 ,  4E068CD05 ,  4E068CD06 ,  4E068CD10 ,  4E068CD13 ,  4E068CE03 ,  4E068CE04 ,  4E068DB10 ,  4E068DB13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• レーザー加工方法およびレーザー加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-091275   出願人：理化学研究所