特許
J-GLOBAL ID：200903079569049971
電子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平戸 哲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-093796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-296916
出願日： 1998年04月07日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】光ディスクの原盤を作製する場合に使用される電子ビーム装置に関し、電子ビーム鏡筒群を備え、スループットの向上を図ると共に、不良の電子ビーム鏡筒が発生した場合においても、作業効率の低下を最小限に抑えることができるようにする。【解決手段】原盤作製用ディスク2の回転中心14から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒21-1〜21-4、22-1〜22-4、23-1〜23-4、24-1〜24-4を回転対称に配置してなる電子ビーム鏡筒群6を設け、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出したときは、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒が分担する電子ビーム照射箇所の電子ビーム照射を回転対称にある他の情報記録用電子ビーム鏡筒を使用して行う。
請求項（抜粋）：
原盤作製用ディスクを保持させて回転させるための原盤作製用ディスク保持手段と、前記原盤作製用ディスク保持手段に保持させた前記原盤作製用ディスクの回転中心から異なる半径方向距離ごとに複数の情報記録用電子ビーム鏡筒を回転対称に配置してなる情報記録用電子ビーム鏡筒群と、不良の情報記録用電子ビーム鏡筒を検出する不良情報記録用電子ビーム鏡筒検出手段とを備えていることを特徴とする電子ビーム装置。
引用特許：
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