特許
J-GLOBAL ID:200903079573860676
太陽電池
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-085561
公開番号(公開出願番号):特開2004-296670
出願日: 2003年03月26日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】色素や電解質溶液を用いておらず、安価で特性の安定した太陽電池を提供する。【解決手段】この太陽電池は、透明基板1の上に順次に積層された透明電極膜2、p層(p型半導体層)3、酸化数が制御された酸化チタン層4、n層(n型半導体層)5及び電極膜6を有する。i層4は酸素ガス雰囲気中でスパッタを行う反応性スパッタ法で成膜されている。例えば、反応性スパッタ時の酸素流量を制御したり、印加する電圧をパルスとし且つ該パルス幅を制御することにより、酸化チタンの酸化数を制御することができる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
p層とn層との間にi層を介在させてなるp/i/n型太陽電池において、
該i層は、酸化数を制御しながらスパッタ成膜された酸化チタンよりなることを特徴とする太陽電池。
IPC (4件):
H01L31/04
, C23C14/08
, C23C14/34
, H01L21/363
FI (4件):
H01L31/04 A
, C23C14/08 E
, C23C14/34 N
, H01L21/363
Fターム (24件):
4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029BA35
, 4K029BA48
, 4K029BB02
, 4K029BD01
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DC05
, 4K029DC33
, 5F051AA01
, 5F051CB15
, 5F051DA04
, 5F051FA04
, 5F051GA03
, 5F103AA08
, 5F103BB22
, 5F103BB54
, 5F103BB56
, 5F103DD30
, 5F103LL04
, 5F103NN05
, 5F103RR05
, 5F103RR08
引用特許:
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