特許
J-GLOBAL ID：200903079588183522
一次元貫通気孔を持つセラミック膜とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
須藤 政彦
, 須藤 政彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-354930
公開番号（公開出願番号）：特開平10-182263
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月07日
要約：
【要約】【課題】 分子や微粒子の高温での分離、高活性の触媒あるいは大比表面積の触媒担持膜として好適に利用可能な一次元貫通気孔を有する様々な組成のセラミック膜と、それを再現性良く効率的に製造する方法を提供する。【解決手段】 膜の一方の表面からもう一方の表面に一次元的に貫通するナノメーターサイズの気孔を有する多孔質セラミック膜であって、当該多孔質セラミック膜がガラス、セラミックス又は耐熱金属の基板上に形成されていることを特徴とする一次元貫通気孔を持つセラミック膜。また、基板上に形成したアモルファス膜を共晶分解反応が起こる条件で熱処理して、その共晶分解反応によって基板上に一次元的に成長したセラミック相とそれを取り囲むセラミックマトリックス相からなる複合膜を形成し、次いで複合膜中の一次元的に成長したセラミック相をエッチングで除去することにより上記セラミック膜を製造する。
請求項（抜粋）：
共晶反応によって形成した一次元的に成長したセラミック相とそれを取り囲むセラミックマトリックス相からなる複合膜中の一次元的に成長したセラミック相を除去して得られる、膜の一方の表面からもう一方の表面に一次元的に貫通するナノメーターサイズの気孔を有する多孔質セラミック膜であって、当該多孔質セラミック膜がガラス、セラミックス又は耐熱金属の基板上に形成されていることを特徴とする一次元貫通気孔を持つセラミック膜。
IPC (6件)：
C04B 38/04
, B01D 71/02
, B01J 35/10 301
, C23C 14/08
, C23C 14/58
, C30B 3/00
C04B 38/04 B
, B01D 71/02
, B01J 35/10 301 H
, C23C 14/08 Z
, C23C 14/58 A
, C30B 3/00
