活性砥粒、その活性砥粒を用いた砥石およびその砥石を使用した研削方法ならびにその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長瀬成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-264447
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073656
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】メカノケミカル作用を起こしながら被加工物表面を鏡面加工できる活性砥粒を提供する。【解決手段】砥粒内に被加工物との化学反応を引き起こす物質イオンを含有し、その物質イオンのメカノケミカル作用によって被加工物を研削することができる活性砥粒。

請求項（抜粋）：

砥粒内に被加工物との化学反応を引き起こす物質イオンを含有し、その物質イオンのメカノケミカル作用によって被加工物を研削することができる活性砥粒。

IPC (5件)：

C09K 3/14 550 , C09K 3/14 , B24B 37/00 , B24D 3/00 330 , H01L 21/304 622

FI (5件)：

C09K 3/14 550 D , C09K 3/14 550 E , B24B 37/00 H , B24D 3/00 330 F , H01L 21/304 622 F

Fターム (14件)：

3C058AA07 , 3C058AA09 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA02 , 3C058DA12 , 3C058DA17 , 3C063AA02 , 3C063AB05 , 3C063BB10 , 3C063BG10 , 3C063CC01 , 3C063EE10 , 3C063EE26

引用特許：

審査官引用 (4件)

鏡面研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-092609 出願人：ダブルティアイ株式会社
固定砥粒型研磨工具
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-223852 出願人：池野順一, 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
特開昭64-064766

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引用文献：

審査官引用 (1件)

2001年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 20010305, p306

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