特許
J-GLOBAL ID：200903079595120714
試料作成装置および試料姿勢転換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-280006
公開番号（公開出願番号）：特開2009-110745
出願日： 2007年10月29日
公開日（公表日）： 2009年05月21日
要約：
【課題】 簡便に試料小片の姿勢を90度、180度、あるいは任意の角度だけ回転させて試料台に固定可能な装置を提供すること。【解決手段】 試料7の表面とマニピュレータ回転軸2の交点を一端とする試料表面に垂直な線分をマニピュレータ回転軸2の周りに回転して得られる円錐側面と、試料表面の2つの面によってつくられる交線11に、試料小片の特定の方向を一致させた後、試料小片をマニピュレータで支持し、マニピュレータ回転軸2を動作させることを特徴とする試料作成装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
回転軸を少なくとも一つ有する試料ステージと、
前記試料ステージとは独立に回転可能で、かつ、試料ステージ表面から測ったマニピュレータ回転軸の取付け角度が0度以上かつ45度以下であるマニュピュレータ回転軸を有し、該マニピュレータ回転軸と概略重なる位置に試料小片を支持することができるマニュピュレータとからなり、
試料表面とマニピュレータ回転軸の交点を一端とする試料表面に垂直な線分をマニピュレータ回転軸の周りに回転して得られる円錐側面と、試料表面の2つの面によってつくられる交線に、試料小片の特定の方向を一致させた後、試料小片をマニピュレータで支持し、マニピュレータ回転軸を動作させることを特徴とする試料作成装置。
IPC (4件)：
H01J 37/20
, G01N 1/28
, H01J 37/317
, B25J 7/00
H01J37/20 Z
, G01N1/28 F
, G01N1/28 G
, H01J37/317 D
, B25J7/00
2G052AA13
, 2G052AD32
, 2G052AD52
, 2G052CA46
, 2G052DA33
, 2G052EC14
, 2G052EC18
, 2G052EC22
, 2G052GA34
, 2G052JA04
, 2G052JA07
, 3C007AS09
, 3C007BS03
, 3C007BS30
, 3C007BT01
, 3C007NS01
, 3C007XG04
, 5C001AA05
, 5C001AA06
, 5C001CC08
, 5C034DD09
