特許
J-GLOBAL ID:200903079596916440
可変の音響インピーダンスを有する超音波変換器ウェハー
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-221970
公開番号(公開出願番号):特開2003-153391
出願日: 2002年07月30日
公開日(公表日): 2003年05月23日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 ICに変換器アレイを配置することは多大なパッケージング効率となる。IC及び回路ボードの基板による音響エネルギーの所望でない側音の伝播を削除若しくは排除する一方で、集積回路若しくは回路ボードに直接的に超音波変換器アレイの素子を接続する方法を提供する。【解決手段】 可変の音響特質を有するウェハーである。ウェハーは、基板上に超音波変換器、ICが形成する基板として使用されるかもしれないし、又は回路ボードとして使用されるかもしれない。ウェハーに形成される超音波変換器は、圧電セラミック変換器素子若しくはMUT素子を含むかもしれない。超音波変換器のための集積された制御回路類が形成されるところのウェハーの音響インピーダンスを制御することによって、ウェハーの音響インピーダンスは超音波変換器の音響インピーダンスの要求と整合することができる。
請求項(抜粋):
複数の素子を有する超音波センサーと、及びウェハーに形成される集積回路からなり、前記ウェハーは穴が前記ウェハーの音響インピーダンスを変化するような複数のポストを定義する複数の前記穴を含有し、前記集積回路が前記超音波センサーに接合されることを特徴とする超音波変換器。
IPC (4件):
H04R 17/00 332
, A61B 8/00
, G01N 29/24 502
, H04R 31/00 330
FI (4件):
H04R 17/00 332 B
, A61B 8/00
, G01N 29/24 502
, H04R 31/00 330
Fターム (25件):
2G047CA01
, 2G047DB02
, 2G047EA04
, 2G047EA10
, 2G047GA02
, 2G047GB02
, 2G047GB17
, 2G047GB29
, 2G047GB35
, 2G047GB36
, 4C301EE04
, 4C301EE07
, 4C301EE11
, 4C301GA03
, 4C301GB02
, 4C301GB18
, 4C301GB19
, 4C301GB22
, 4C301GB36
, 4C301GB37
, 5D019AA25
, 5D019BB19
, 5D019EE02
, 5D019FF04
, 5D019HH03
引用特許: