特許
J-GLOBAL ID：200903079601982936
描画データ取得方法および装置並びに描画方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-269783
公開番号（公開出願番号）：特開2007-079383
出願日： 2005年09月16日
公開日（公表日）： 2007年03月29日
要約：
【課題】 露光点データに基づいてマイクロミラーにより基板上に露光パターンを露光する際に用いられる露光点データであって、基板の変形などに応じて原画像データから取得される露光点データの取得方法において、その露光点データの取得時間を短縮し、生産効率の向上を図る。【解決手段】 基板12上のマイクロミラーの仮想描画軌跡に対応する露光点データを複数の仮想描画軌跡についてそれぞれ取得し、その取得した露光点データを圧縮してテンプレート記憶部56bに記憶し、実際の露光画像の露光の際の基板12上のマイクロミラーの描画軌跡情報を複数取得し、その複数の描画軌跡情報のうちの一部の描画軌跡情報を選択し、その選択した描画軌跡情報に近似する仮想描画軌跡情報を取得し、その取得した仮想描画軌跡情報に対応する露光点データを解凍して取得し、その解凍した露光点データを用いて上記複数の描画軌跡情報に対応する露光点データを取得する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
描画データに基づいて描画点を形成する描画点形成領域によって基板上に画像を描画する際に用いられる前記描画データを取得する描画データ取得方法において、
前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との予め設定された位置関係に基づいて前記画像を表す原画像データから前記描画データを取得するための仮想的な条件であって、互いに異なる前記位置関係に基づく複数の仮想描画データ取得条件を用いて複数の仮想描画データを予め取得するとともに、前記仮想描画データ取得条件と前記仮想描画データとの対応関係を予め取得し、
前記取得した複数の仮想描画データにそれぞれ圧縮処理を施し、
該圧縮処理を施した複数の圧縮処理済仮想描画データを予め記憶し、
前記画像の描画の際の前記基板上の描画面と前記描画点形成領域との実位置関係に基づいて前記原画像データから前記描画データを取得するための条件であって、互いに異なる前記実位置関係に基づく描画データ取得条件を複数取得し、
該取得した描画データ取得条件のうちの一部の描画データ取得条件に近似する前記仮想描画データ取得条件を取得し、
該取得した仮想描画データ取得条件に対応する圧縮処理済仮想描画データを前記記憶した複数の圧縮処理済仮想描画データの中から前記対応関係に基づいて選択し、
該選択した圧縮処理済仮想画像データに解凍処理を施し、
前記取得した複数の描画データ取得条件に対応する前記仮想描画データ取得条件をそれぞれ特定し、
前記解凍処理を施した仮想描画データの中から前記特定した仮想描画データ取得条件に対応する仮想描画データを前記対応関係に基づいてそれぞれ特定し、
該特定した仮想描画データを前記描画データとして取得することを特徴とする描画データ取得方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/20 501
, G02B26/08 E
2H041AA13
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097BA10
, 2H097BB10
, 2H097LA09
, 2H097LA11
