特許
J-GLOBAL ID：200903038024488376
描画ヘッドユニット、描画装置及び描画方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-023089
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233718
出願日： 2003年01月31日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】複数の描画ヘッドで走査方向の倍率誤差を解消可能で、且つ走査方向の全体での倍率変換を行なうことも可能な描画ヘッドユニットと、描画装置及び描画方法を得る。【解決手段】複数の露光ヘッド166が少なくとも走査方向に沿って複数配置され、露光ヘッドユニット165が構成される。露光ヘッド166ごとに画素の更新タイミングを変更することで、露光ヘッド166間での走査方向の倍率誤差を補正する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
描画面に対し、この描画面に沿った所定の走査方向へ相対移動される描画ヘッドが少なくとも走査方向と交差する方向に沿って複数配置された描画ヘッドユニットであって、
描画ヘッドごとに少なくとも前記走査方向での描画ヘッドの画素更新タイミングを変更可能とされていることを特徴とする描画ヘッドユニット。
IPC (7件)：
G03F7/20
, B41J2/44
, B41J2/445
, B41J2/45
, B41J2/455
, G02B27/18
, H01L21/027
G03F7/20 505
, G02B27/18 Z
, B41J3/21 L
, B41J3/21 V
, H01L21/30 529
2C162AE23
, 2C162AE28
, 2C162AE47
, 2C162AE77
, 2C162AF06
, 2C162AF54
, 2C162AF76
, 2C162FA05
, 2C162FA13
, 2C162FA18
, 2H097AA03
, 2H097AA04
, 2H097AB06
, 2H097CA17
, 5F046BA06
, 5F046BA07
, 5F046CA03
, 5F046CB18
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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