特許
J-GLOBAL ID：200903079606053275
ウェーハ収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高田 守
, 高橋 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-301652
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114761
出願日： 2004年10月15日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】 基板収納容器内の残留気体を置換ガスで置換する場合、短時間にまた置換ガスの使用量を最小限にして置換する。【解決手段】 一側面が開口した容器本体01と、上記開口を塞ぐ蓋体02とを備え、複数の基板Wを水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、保持される一方の基板の特定方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ一方の気流制御板05を設け、さらに保持される他方の基板の前記特定方向と反対方向のほぼ半周と容器内壁との空間を塞ぐ他方の気流制御板06を設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一側面が開口した容器本体と、上記開口を塞ぐ蓋体とを備え、複数の基板を水平にかつ縦方向に間隔を置いて保持する保持手段を有する基板収納容器において、
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031EA19
, 5F031MA15
, 5F031MA16
, 5F031NA02
, 5F031NA04
, 5F031NA15
, 5F031NA16
