特許
J-GLOBAL ID：200903079651378320
レーザ加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-370608
公開番号（公開出願番号）：特開2007-167918
出願日： 2005年12月22日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】加工対象物の内部の所望の位置に、切断の起点となる改質領域を精度良く形成することができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザ加工装置は、加工用レーザ光と測距用レーザ光L2とをウェハ1に向けて集光させる集光用レンズ31と、レンズ31を動作させるアクチュエータと、測距用レーザ光の反射光L3に非点収差を付加する整形光学系49と、反射光L3を受光し、その光量に応じた電圧値を出力する4分割フォトダイオード42と、アクチュエータを制御する制御部とを備え、測距用レーザ光L2の集光点P2をレンズの焦点P0とレンズ31との間に位置させることで、表面3からより深い位置に改質領域を形成可能とし、反射光L3による悪影響を抑制する。また、電圧値の総和による除算が施された演算値に基づいて制御することで、演算値の反射光量による変化を防止する。【選択図】図21
請求項（抜粋）：
板状の加工対象物の内部に集光点を合わせて第1のレーザ光を照射し、前記加工対象物の内部に、切断の起点となる改質領域を形成するレーザ加工装置であって、
前記第1のレーザ光と、前記加工対象物において前記第1のレーザ光が照射されるレーザ光照射面で反射させるための第2のレーザ光とを前記加工対象物に向けて集光する集光用レンズと、
前記集光用レンズをその光軸方向に沿って動作させる駆動手段と、
前記レーザ光照射面で反射された前記第2のレーザ光の反射光に非点収差を付加する非点収差付加手段と、
非点収差が付加された前記第2のレーザ光の反射光を分割して受光し、分割されて受光された前記第2のレーザ光の反射光のそれぞれの光量に応じた出力値を出力する光検出素子と、
前記第1のレーザ光の集光点が前記レーザ光照射面から所定の距離に位置するように前記駆動手段を制御する制御手段とを備え、
前記第2のレーザ光は、その集光点が前記集光用レンズの焦点と前記集光用レンズとの間に位置するように、前記集光用レンズによって前記加工対象物に向けて集光され、
前記制御手段は、前記光検出素子によって出力された前記出力値に対し、前記出力値の総和による除算及び所定の演算を施すことで取得した演算値に基づいて、前記駆動手段を制御することを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (4件)：
B23K 26/04
, B23K 26/00
, B23K 26/38
, B23K 26/40
B23K26/04 C
, B23K26/00 M
, B23K26/38 320
, B23K26/40
4E068AD00
, 4E068AE00
, 4E068CA09
, 4E068CA11
, 4E068CB02
, 4E068CB05
, 4E068CB09
, 4E068CC01
, 4E068CD13
, 4E068CE01
, 4E068DA10
, 4E068DB11
, 4E068DB13
