特許
J-GLOBAL ID：200903079652388303
質量分離電極を有するイオンビ-ム引出し電極系装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154512
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349429
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 質量分離電極内でのビームの広がりを防止し、ビーム通過率を向上させること。【構成】 面イオンビ-ム引出し電極系は多数のE×Bフィルタが形成されている質量分離電極3を有し、同電極のビーム上流側に、プラズマ電極1及び引出し電極2に加えて加速電極16を設ける。質量分離電極の下流側には抑制電極4、接地電極6があり、電極1,2,4,6,15は多孔電極である。加速電極によって、イオン源のプラズマから引出されたビームは集束、加速状態で質量分離電極に導入され、同電極内の自由空間でのビームの広がりが抑えられる。一点鎖線領域は分離除去されるイオンの軌道を示す。
請求項（抜粋）：
質量分離電極のビーム上流側に、プラズマ電極、引出し電極及び加速電極の3枚電極を備えてなることを特徴とする質量分離電極を有するイオンビ-ム引出し電極系装置。
IPC (4件)：
H01J 37/05
, H01J 37/317
, H01J 49/48
, H01L 21/265
