特許
J-GLOBAL ID：200903079668740929
単結晶製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-007485
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：
【要約】【課題】 単結晶製造工程終了後のルツボ2交換作業を容易にする単結晶製造装置を提供する。また、かかる交換作業の容易化を図りつつ、ルツボに水平磁場を発生させ、容易な操作によりルツボに発生する磁界の種類を変更し、あるいは磁界の強さを調整できる単結晶製造装置を提供する。【解決手段】 ルツボ2に対し上下に対向して配置され、一対の同軸対向マグネット103、106とこのマグネットを分解できるように支持するサポート部材109とを備えている。一対の同軸対向マグネット203、206は水平方向に対向して配置してもよい。また、マグネット内のコイルは鞍型コイル304、307であってもよく、この鞍型コイルは、弧状部の弧の長さを調整でき、電流の流れる方向により、カスプ磁界、水平磁場のいずれをも発生させることができる。
請求項（抜粋）：
ルツボ内に収容した原料融液に直流磁界を印加してチョクラルスキー法により単結晶を引上げ製造する単結晶製造装置において、上記ルツボに対し上下に対向して配置され、かつ上記ルツボの中心軸に対し同軸な中空円筒状コイルおよび上記コイルを収容する容器を有する一対の同軸対向マグネットと、上記マグネット間を分解できるように支持するサポート部材とを備え、上記ルツボの中心軸に対し等軸対称的かつ放射状のカスプ磁界を印加できることを特徴とする単結晶製造装置。
IPC (2件)：
C30B 15/00
, C30B 29/06 502
C30B 15/00
, C30B 29/06 502 G
4G050FA16
, 4G050HA03
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF00
, 4G077EG30
, 4G077EJ02
