特許
J-GLOBAL ID:200903079682415160

平面型撮像装置および平面型撮像装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西村 教光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-070797
公開番号(公開出願番号):特開2002-270122
出願日: 2001年03月13日
公開日(公表日): 2002年09月20日
要約:
【要約】【目的】製造時における平面型撮像装置の外囲器の変形・偏芯・傾きを防止する。【構成】平面型撮像装置は、電子放出源2aを有する陰極基板1と、陰極基板の上面に封着される上部外囲器30と、陰極基板の下面に封着される下部外囲器50を有する。12は透光性の電極、13は光電変換素子、8は制御電極であり、上下部外囲器は陰極基板の孔で連通する。上部外囲器は、陰極基板に固着されるスペーサ部材31と封止金属部33と透光性基板11からなり、制御電極8は封止金属部とスペーサ部材の間に固定される。上下部両外囲器は、陰極基板の封着部分の外周形状が実質的に同一であり、陰極基板に直交する方向から見て、その全周にわたり略重なり合うように陰極基板に封着される。両外囲器を陰極基板1の上下面に押し付ける封着時に陰極基板に加わる力のバランスが安定かつ均一化し、陰極基板の変形や透光性基板の偏芯・傾きが防止される。
請求項(抜粋):
マトリクス状に配設された複数の電子放出源を上面に有する陰極基板と、前記陰極基板の上面に封着される上部外囲器と、前記陰極基板の下面に封着される下部外囲器とを有し、前記上部外囲器内面には外部からの入射光を透過する透光性の電極と光電変換素子が積層して配設され、前記光電変換素子と陰極基板との間には制御電極が配設され、陰極基板には上部外囲器と下部外囲器を連通する孔が形成され、下部外囲器内にはゲッタ部材が配設された平面型撮像装置において、前記上部外囲器は、前記陰極基板に封着材を介して固着されるスペーサ部材と封止金属部と透光性基板から構成され、前記制御電極は、前記封止金属部を介して通電されるように前記封止金属部と前記スペーサ部材の間に挟持されて配設され、前記上部外囲器と下部外囲器は、陰極基板に封着される部分の外周形状が実質的に同一であり、陰極基板に直交する方向から見て、その全周にわたり少なくとも一部が重なり合うように陰極基板を挟んで対面する位置において陰極基板に封着されていることを特徴とする平面型撮像装置。
IPC (5件):
H01J 31/28 ,  H01J 9/26 ,  H01J 31/38 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/30
FI (5件):
H01J 31/28 B ,  H01J 9/26 A ,  H01J 31/38 B ,  H04N 5/30 ,  H01L 27/14 Z
Fターム (20件):
4M118AA08 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118DD01 ,  4M118HA11 ,  4M118HA20 ,  4M118HA24 ,  5C012AA03 ,  5C012BC03 ,  5C024AX01 ,  5C024CY14 ,  5C024CY47 ,  5C024CY48 ,  5C024EX02 ,  5C024JX01 ,  5C037AA01 ,  5C037AB08 ,  5C037AB23
引用特許:
審査官引用 (3件)

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