平面形撮像装置及びその製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西村教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146695
公開番号（公開出願番号）：特開2000-048743
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】光電変換ターゲットと電界放出型陰極アレイを有する平面型撮像装置において、低雑音ならびに陰極アレイ動作の安定化を実現する。【解決手段】透光性基板3上の光電変換ターゲット7と、対向する陰極基板4上の電界放出型陰極アレイの間に、シールド-グリッド電極20を設ける。該電極20は基板3,4 間のスペーサ部材5の段部9に係止する。スペーサ部材5内部に電極リード21',24を設けて電極20および透光性導体膜22を外部に電気的に接続する。透光性基板3とスペーサ部材5は金属薄膜6により封着する。陰極基板4下部にはゲッター室25がある。電子放出領域からの電子ビームの広がりを抑えながら光電変換膜中で発生・蓄積された信号電荷の空間分布を時系列電気信号として外部に取り出す。光電変換膜23中から放出されるガスによる正イオン、余剰電子からエミッタ15とゲート電極13の損傷が防護され、陰極アレイの動作安定、低雑音が実現する。

請求項（抜粋）：

少なくとも外部からの入射光が透過する透光性電極と前記入射光によって信号電荷を発生する光電変換膜とからなる光電変換ターゲットを有する透光性基板と、複数の電界放出型エミッタ群を有する陰極電極と前記電界放出型エミッタ群から電子ビームを引き出すためのゲート電極を有する陰極基板と、前記電界放出型エミッタ群の中で電子を放出する電界放出型エミッタ群を任意に選択できる手段と、前記光電変換膜中の任意の場所で発生して蓄積された信号電荷を読み取り電気信号を発生する手段を備え、前記光電変換ターゲットと前記陰極基板の各外周部の間にスペーサ部材を設けて内部が高真空状態で保持されるように封着部と外囲器を有する撮像装置において、前記電界放出型エミッタ群から放出された電子を前記光電変換ターゲットへ効率良く到達させ、且つ前記外囲器内に存在する電子やイオンによる前記陰極基板への損傷を防護し、且つ前記電気信号に混入する雑音を低減させるためのシールド-グリッド電極を有することを特徴とする平面形撮像装置。

IPC (2件)：

H01J 31/28 , H01J 31/12

FI (2件)：

H01J 31/28 B , H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

画像素子及びその操作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-238986 出願人：株式会社日立製作所
電子線発生装置及びそれを用いた画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-262867 出願人：キヤノン株式会社
特公昭50-033608

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