特許
J-GLOBAL ID：200903079685422450
マイクロマニピュレータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025419
公開番号（公開出願番号）：特開平10-217164
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】拡散歪みゲージがある部分と、ハンドリング部の温度変化の影響を歪みゲージに伝わりにくくし、センサ出力の変動が起きないようにする。【解決手段】マニピュレータ11を構成する支持部材12,13の先端に、拡散歪みゲージ18及び薄肉部21を形成した単結晶シリコンよりなる指部材14を取着した。肉薄部21に二酸化シリコンよりなる熱絶縁部29を形成し、マニピュレータ11のハンドリング部16側の熱が拡散歪みゲージ18に伝わらないようにした。この結果、対象物Wを挟んだ時に、指部材14は、薄肉部21の部分で撓み、その撓みによる応力としてのマニピュレータ11の力を拡散歪みゲージ18が検知して撓みに応じた電気信号を検出信号として出力する。この出力は、ハンドリング部16からの熱により温度ドリフトすることはない。
請求項（抜粋）：
微小な対象物(W)をハンドリングするためのハンドリング部を備えたマイクロマニピュレータであって、前記対象物(W)を把持する一対の指部材(14,15)と、前記一対の指部材(14,15)のうちの少なくとも一方に形成され、前記対象物(W)を把持する力を検知するための拡散歪みゲージ(18)と、前記拡散歪みゲージ(18)と指部材(14,15)のハンドリング部(16)との間に熱絶縁部(29)とを備えたマイクロマニピュレータ。
IPC (3件)：
B25J 7/00
, C12M 1/00
, G02B 21/32
B25J 7/00
, C12M 1/00 A
, G02B 21/32
