特許
J-GLOBAL ID:200903079716700926
サンドブラスト装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-167020
公開番号(公開出願番号):特開2000-000765
出願日: 1998年06月15日
公開日(公表日): 2000年01月07日
要約:
【要約】【課題】 PDPの背面板の障壁のサンドブラスト処理等に用いられるサンドブラスト装置において、切削中に、切削部への異物の付着を防止できる装置を提供する。【解決手段】 ブラストノズル位置を移動させ、且つ、処理基板に対し、処理基板の処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、切削の妨げとなる異物の、切削部への付着を防止するエアーブローノズルを、ブラストノズル付近に設けている。
請求項(抜粋):
ブラストノズル位置を移動させ、且つ、処理基板に対し、処理基板の処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、切削の妨げとなる異物の、切削部への付着を防止するエアーブローノズルを、ブラストノズル付近に設けていることを特徴とするサンドブラスト装置。
IPC (4件):
B24C 5/02
, B24C 9/00
, H01J 9/02
, H01J 11/02
FI (4件):
B24C 5/02 A
, B24C 9/00 K
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
Fターム (4件):
5C027AA09
, 5C040AA04
, 5C040BB05
, 5C040DD09
引用特許:
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