特許

J-GLOBAL ID：200903079720823048

光半導体用窓ガラス

発明者： 船引 伸夫
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283092
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112568
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 信頼性の高い光半導体モジュールを効率良く製造できる光半導体用窓ガラスを提供すること。【解決手段】 本発明の光半導体用窓ガラス1は、光半導体用パッケージ3の窓孔部3aに固着される光半導体用窓ガラス1において、該窓ガラスの表面に、第1層としてチタン膜、クロム膜、ニッケルクロム膜から選択される膜2a、第2層としてパラジウム膜2b、第3層として金膜2cからなる固着用の金属多層膜2を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光半導体用パッケージの窓孔部に固着される光半導体用窓ガラスにおいて、該窓ガラスの表面に、第1層としてチタン膜、クロム膜、まはニッケルクロム膜から選択される膜、第2層としてパラジウム膜、第3層として金膜からなる固着用の金属多層膜を備えていることを特徴とする光半導体用窓ガラス。

IPC (3件)：

H01S 3/18 ,  H01L 23/02 ,  H01L 31/02

FI (3件)：

H01S 3/18 ,  H01L 23/02 F ,  H01L 31/02 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

• オプトエレクトロニク半導体装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-289502   出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
• 光結合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-136561   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭61-265875
  
• 特開平4-232443