特許
J-GLOBAL ID:200903079735887239
基板の組立方法とその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
秋本 正実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-350502
公開番号(公開出願番号):特開2001-166272
出願日: 1999年12月09日
公開日(公表日): 2001年06月22日
要約:
【要約】【課題】上下基板が同一形状であっても真空中で貼り合わせることができる基板の組立方法およびその装置を提供することである。【解決手段】貼り合わせる2枚の基板を対向させ、いづれかの基板に設けた接着剤により両基板を貼り合わせるものであり、真空中で両基板を上下に対向させて保持し、上方の基板の保持を解放して下方の基板上に落下させて両基板を貼り合わせる。
請求項(抜粋):
貼り合わせる2枚の基板を対向させ、いづれかの基板に設けた接着剤により両基板を貼り合わせる基板の組立方法において、真空中で両基板を上下に対向させて保持し、上方の基板の保持を解放して下方の基板上に落下させて両基板を貼り合わせることを特徴とする基板の組立方法。
Fターム (7件):
2H088FA01
, 2H088FA09
, 2H088FA16
, 2H088FA17
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088MA20
引用特許:
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