特許
J-GLOBAL ID:200903079745837906

誘電体バリア放電装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-269144
公開番号(公開出願番号):特開平10-097898
出願日: 1996年09月20日
公開日(公表日): 1998年04月14日
要約:
【要約】【課題】 誘電体バリア放電ランプがその材料自身や加工上のバラツキを有する場合であっても、光照射エネルギーの均一化ができる誘電体バリア放電装置を提供することにある。【解決手段】誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(G,G1,G2・・)があって、この放電用ガスに放電現象を誘起させる電極(Ea,Ea1,Ea2・・)(Eb,Eb1,Eb2・・)のうち少なくとも一方と放電用ガスの間に誘電体(D,D1,D2・・)が介在する構造を有する誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2・・)と、前記電極(Ea,Ea1,Ea2・・)(Eb,Eb1,Eb2・・)に交流の高電圧を印加するための給電装置(S)とを有して、この給電装置(S)は、誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2・・)に発光のための放電を生じせしめている期間(Ta)と、実質的に発光のための放電を生じせしめていない期間(Tb)とを交互に繰り返すように交流の高電圧を印加することを特徴とする誘電体バリア放電装置。
請求項(抜粋):
誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(G,G1,G2,..)があって、この放電用ガスに放電現象を誘起するための電極(Ea,Ea1,Ea2,..)(Eb,Eb1,Eb2,..)のうちの少なくとも一方の電極と、前記放電用ガスの間に誘電体(D,D1,D2,..)が介在する構造を有する誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,..)と、前記電極(Ea,Ea1,Ea2,..)(Eb,Eb1,Eb2,..)に交流の高電圧を印加するための給電装置(S)とを有する誘電体バリア放電装置において、前記給電装置(S)が、前記誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,..)に交流の高電圧を印加し、前記誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,..)に発光のための放電を生じせしめている期間(Ta)と、実質的に発光のための放電を生じせしめていない期間(Tb)とを交互に繰り返すことを特徴とする誘電体バリア放電装置。
IPC (3件):
H05B 41/24 ,  G21K 5/00 ,  H01J 65/04
FI (3件):
H05B 41/24 L ,  G21K 5/00 Z ,  H01J 65/04 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • 誘電体バリア放電装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-185168   出願人:ウシオ電機株式会社
  • 特開昭63-158796
  • 特開平4-154097
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