特許
J-GLOBAL ID:200903070827539639

誘電体バリア放電装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-185168
公開番号(公開出願番号):特開平8-031585
出願日: 1994年07月15日
公開日(公表日): 1996年02月02日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 高効率、安定、経済的かつ安全な誘電体バリア放電装置の、とくにその給電装置を提供する。【構成】 電流位相検出器12からの電流位相信号14と電圧位相検出器13からの電圧位相信号15との位相差を比較するための位相比較器16と、位相比較器16の出力信号の大小に対応して発振周波数の高低が変化する周波数可変発振器18と、前記周波数可変発振器18の出力信号に従ってスイッチングインバータ部9を駆動するスイッチング素子駆動回路19とから構成される位相フィードバック回路を作動させることによって、トランス8の1次巻線6の電圧位相に対する、前記トランス81次巻線7の電流位相の遅れ量が、概略的に一定となるような周波数でスイッチングインバータ部9がスイッチングされる誘電体バリア放電装置。
請求項(抜粋):
誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(1)があって、前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための両極の電極(2a),(2b)のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体(3)が介在する構造を有する誘電体バリア放電ランプ(4)と、前記誘電体バリア放電ランプ(4)の前記電極(2a),(2b)に交流の高電圧を印加するための給電装置とを有する誘電体バリア放電装置において、前記給電装置が、直流電源部(5)と、1次巻線(6)と2次巻線(7)を有するトランス(8)と、前記トランス(8)の1次巻線(6)に前記直流電源部(5)からの電流を正逆に切り替えて流すためのスイッチングインバータ部(9)と、前記トランス(8)の2次巻線(7)の両端子に接続された、直列の共振用コイル(10)と共振用コンデンサ(11)とを有し、前記コンデンサ(11)の両端に発生する電圧を、前記誘電体バリア放電ランプ電極(2a),(2b)に供給するものであって、前記トランス(8)の1次巻線(6)の電流位相を検出するための電流位相検出器(12)と、前記トランス(8)の1次巻線(6)の電圧位相を検出するための電圧位相検出器(13)と、前記電流位相検出器(12)からの電流位相信号(14)と前記電圧位相検出器(13)からの電圧位相信号(15)との位相差を比較するための位相比較器(16)と、前記位相比較器(16)の出力信号の大小に対応して発振周波数の高低が変化する周波数可変発振器(18)と、前記周波数可変発振器(18)の出力信号に従って前記スイッチングインバータ部(9)を駆動するスイッチング素子駆動回路(19)とから構成される位相フィードバック回路を作動させることによって、前記トランス(8)の1次巻線(6)の電圧位相に対する前記トランス(8)の1次巻線(6)の電流位相の遅れ量が概略的に一定となるような周波数で、前記スイッチングインバータ部(9)がスイッチングされることを特徴とする誘電体バリア放電装置。
IPC (3件):
H05B 41/24 ,  H05B 41/16 320 ,  H05B 41/16 330
引用特許:
審査官引用 (5件)
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